[发明专利]一种用于降低薄板形材料离子束抛光时热应力的装置和方法在审
| 申请号： | 201811220508.7 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN109262376A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 邱文;黄小杰;冷和杰;邱一豇;吴立昌 | 申请（专利权）人： | 四川联合晶体新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B41/06;B24B55/02;B24B55/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 620000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于降低薄板形材料离子束抛光时热应力的装置，包括发射单元、蓝宝石板材、发热单元、散热底座、夹具及其定位机构，发射单元发射出离子束并在蓝宝石板材的被抛光表面形成光斑；加热阵列由多个发热单元紧凑排列而成；加热阵列的一面与散热底座压紧装配，另一面与薄板形状的蓝宝石板材的未加工面压紧装配；加热阵列与所述蓝宝石板材相接触的表面积不大于离子束在蓝宝石板材的被抛光表面形成的光斑的面积；散热底座、加热阵列和所述蓝宝石板材通过夹具及其定位机构实现安装和固定；采用本发明的降低薄板形材料离子束抛光时热应力的装置和方法，可有效避免光学材料特别是高热膨胀系数光学材料在抛光时因热应力而导致开裂的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 加热阵列 热应力 薄板形材料 离子束抛光 散热底座 夹具 被抛光表面 光斑 定位机构 发热单元 发射单元 光学材料 离子束 压紧 装配 高热膨胀系数 薄板形状 加工面 抛光 紧凑 发射 | ||
【主权项】：
1.一种用于降低薄板形材料离子束抛光时热应力的装置，包括发射单元、蓝宝石板材(1)、加热阵列(2)、散热底座(4)、夹具(5)及其定位机构，其特征在于：所述发射单元发射出离子束(7)并在所述蓝宝石板材(1)的被抛光表面形成光斑(6)；所述加热阵列(2)由多个发热单元(3)紧凑排列而成；所述加热阵列(2)的一面与散热底座(4)压紧装配，另一面与薄板形状的蓝宝石板材(1)的未加工面压紧装配；所述加热阵列(2)与所述蓝宝石板材(1)相接触的表面积不大于所述离子束(7)在所述蓝宝石板材(1)的被抛光表面形成的光斑(6)的面积；所述散热底座(4)、所述加热阵列(2)和所述蓝宝石板材(1)通过夹具(5)及其定位机构实现安装和固定。
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