[发明专利]用于飞行时间质谱仪的金属镀层氧化铝陶瓷电极片有效
| 申请号： | 201811222588.X | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN109256323B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 聂宗秀;李玉泽;袁震;占铃鹏;熊彩侨;刘会会 | 申请（专利权）人： | 中国科学院化学研究所 |
| 主分类号： | H01J49/40 | 分类号： | H01J49/40;H01J49/10 |
| 代理公司： | 北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386 | 代理人： | 龚颐雯;庞许倩 |
| 地址： | 100190 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于飞行时间质谱仪的电极片，属于离子光学器件制作技术领域。解决了现有技术中的电极片厚度较大、机械尺寸加工不准确一致、电极片不平整以及任意两个电极片之间的间距不够小等技术问题；本发明提供了一种用于飞行时间质谱仪的电极片，包括氧化铝陶瓷和金属镀层；氧化铝陶瓷为95氧化铝陶瓷或99氧化铝陶瓷；金属镀层涂覆于氧化铝陶瓷表面和侧沿；95氧化铝陶瓷和99氧化铝陶瓷是指氧化铝的质量百分含量为95％和99％。本发明提供的电极片具有较薄的厚度、较高的平整度以及较好的机械尺寸准确性，并且成本较低，能够用于飞行时间质谱仪的制作，有利于形成均匀的梯度电场。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 飞行 时间 质谱仪 金属 镀层 氧化铝陶瓷 电极 | ||
【主权项】：
1.一种用于飞行时间质谱仪的电极片，其特征在于，所述电极片包括氧化铝陶瓷和金属镀层；所述金属镀层涂覆于氧化铝陶瓷表面和侧沿；所述氧化铝陶瓷为95氧化铝陶瓷或99氧化铝陶瓷；所述95氧化铝陶瓷和99氧化铝陶瓷是指氧化铝的质量百分含量为95％和99％。
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