[发明专利]垫监测装置及包括其的垫监测系统、垫监测方法在审
| 申请号： | 201811223212.0 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN110617786A | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 申盛皓;禹相政;郑文硕;金圣奕 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 11399 北京冠和权律师事务所 | 代理人： | 朱健;张国香 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开一种垫监测装置及包括其的系统、垫监测方法。根据一个实施例的监测研磨垫的表面状态的垫监测装置，通过照射于所述研磨垫的表面的光的散射图案可以监测所述研磨垫的表面状态。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨垫 表面状态 监测装置 监测 散射图案 照射 | ||
【主权项】：
1.一种垫监测装置，其用于监测研磨垫的表面状态，通过照射于所述研磨垫的表面的光的散射图案来监测所述研磨垫的表面状态。/n
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