[发明专利]半导体器件及其制造方法和测试方法在审

专利信息
申请号: 201811224706.0 申请日: 2018-10-19
公开(公告)号: CN111081677A 公开(公告)日: 2020-04-28
发明(设计)人: 胡滨 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: H01L23/544 分类号: H01L23/544;G01R31/28
代理公司: 北京律智知识产权代理有限公司 11438 代理人: 袁礼君;阚梓瑄
地址: 230000 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明涉及半导体技术领域,提出一种半导体器件、半导体器件的制造方法和测试方法。该半导体器件可以包括晶圆、划片道和多个时钟倍频电路;划片道相互垂直分布将晶圆分隔成若干芯片;多个时钟倍频电路设于划片道,其输出端与芯片连接。可以提供与芯片时钟频率一致的高频时钟,同时又不影响芯片的性能,功耗与面积;简化芯片的wafer级测试方案设计。
搜索关键词: 半导体器件 及其 制造 方法 测试
【主权项】:
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