[发明专利]一种二维半导体和铁电材料功能互补型超宽光谱探测器

摘要

本发明公开一种二维半导体和铁电材料功能互补型超宽光谱探测器，其特征在于，所述光谱探测器包括：衬底、二维半导体、源电极、漏电极、铁电材料、栅电极；所述衬底的上表面设置有所述二维半导体、所述源电极、所述漏电极，所述源电极和所述漏电极分别设置在所述二维半导体的上表面的两端；所述二维半导体的两侧分别与所述源电极的下层金属和所述漏电极的下层金属连接；所述铁电材料设置在所述二维半导体、源电极和漏电极的上表面；所述栅电极的下表面与所述铁电材料的上表面连接。基于二维半导体和铁电材料的多功能互补来实现超宽光谱响应。

主权项

1.一种二维半导体和铁电材料功能互补型超宽光谱探测器，其特征在于，所述光谱探测器包括：衬底(1)、二维半导体(2)、源电极(3)、漏电极(4)、铁电材料(5)、栅电极(6)；所述衬底(1)的上表面设置有所述二维半导体(2)、所述源电极(3)、所述漏电极(4)，所述源电极(3)和所述漏电极(4)分别设置在所述二维半导体(2)的上表面的两端；所述源电极(3)和所述漏电极(4)均包括上层金属和下层金属，所述上层金属的厚度大于所述下层金属的厚度；所述二维半导体(2)的两侧分别与所述源电极(3)的下层金属和所述漏电极(4)的下层金属连接；所述铁电材料(5)设置在所述二维半导体(2)、所述源电极(3)和所述漏电极(4)的上表面；所述栅电极(6)的下表面与所述铁电材料(5)的上表面连接。