[发明专利]一种塑料基体表面形成非晶碳膜的方法有效
| 申请号： | 201811226993.9 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN109023232B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 王永欣;管文;曾志翔;王立平;薛群基 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种塑料基体表面形成非晶碳膜的方法。首先，采用氩气等离子体在电场作用下对塑料基体表面进行预处理，实现塑料基体表面活化，然后采用碳等离子体持续溅射轰击塑料基体表面，通过控制碳等离子体轰击时间，实现塑料表面的有机结构向无机结构逐渐转变，从而形成与基体具有良好结合力的非晶碳膜，提高了非晶碳膜对塑料基体的功能化防护应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 塑料 基体 表面 形成 非晶碳膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种塑料基体表面形成非晶碳膜的方法，其特征是：首先，采用氩气等离子体在电场作用下对塑料基体表面进行预处理；然后，利用碳等离子体溅射轰击塑料基体表面形成非晶碳膜。
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