[发明专利]一种多版并列光刻的排版系统有效

专利信息
申请号: 201811229365.6 申请日: 2018-10-22
公开(公告)号: CN109270803B 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 陈莹;常敏;孟庆涛;邢国军 申请(专利权)人: 上海理工大学
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 上海天协和诚知识产权代理事务所 31216 代理人: 张轶
地址: 200093 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种多版并列光刻的排版系统,该系统包括:阵列光源,所述阵列光源设置在竖直板上;排版装置,所述排版装置包括排架、安装在所属排架上的与所述阵列光源一一对应的反射单元,所述反射单元中设置有反射镜、开闭装置,所述排架上连接有滑轨,所述滑轨中设置有用来滑动所述排架的驱动机构,所述反射单元在竖直高度上错开排放,使得每个所述反射单元能够得到对应所述阵列光源的照射;若干光学图像缩小装置,所述光学图像缩小装置排放在所述滑轨的移动方向的下方;若干待印刷板;以及控制器。本发明的有益效果为提高生产效率,且排版变化影响小,足以满足个性化生产。
搜索关键词: 一种 并列 光刻 排版系统
【主权项】:
1.一种多版并列光刻的排版系统,其特征在于,该系统包括:阵列光源(100),所述阵列光源(100)设置在竖直板(200)上;排版装置(300),所述排版装置(300)包括排架(310)、安装在所属排架(310)上的与所述阵列光源(100)一一对应的反射单元(320),所述反射单元(320)中设置有反射镜(1)、开闭装置,所述排架(310)上连接有滑轨(330),所述滑轨(330)中设置有用来滑动所述排架(310)的驱动机构,所述反射单元(320)在竖直高度上错开排放,使得每个所述反射单元(320)能够得到对应所述阵列光源(100)的照射;若干光学图像缩小装置(400),所述光学图像缩小装置(400)排放在所述滑轨(330)的移动方向的下方,所述光学图像缩小装置(400)包括接收端、输出端,所述接收端用来接收所述排版装置(300)的反射光;若干待印刷板(500),所述待印刷板(500)与所述光学图像缩小装置(400)一一对应,所述待印刷板(500)与所述输出端相对设置,所述待印刷板(500)的上表面设置有能被所述阵列光源(100)中光线分解的胶剂;以及控制器,所述控制器与所述驱动机构、所述开闭装置电连接;其中,所述阵列光源(100)中的光线经过所述反射镜(1)照射向所述接收端形成光路径,所述开闭装置用来切断或者连通所述光路径。
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