[发明专利]化学水浴镀膜装置

摘要

本发明是关于一种化学水浴镀膜装置。该装置包括：反应槽，包括固定结构，固定结构用于固定放置于反应槽内的待镀膜衬板；馈入单元，设置在反应槽的槽内，与放置于反应槽内的待镀膜衬板平行，馈入单元内部中空，用于缓存加热后的反应液；馈入单元的第一侧面有喷射口，第一侧面为朝向待镀膜衬板的面，其中，第一侧面在待镀膜衬板的待镀膜面上的正投影的面积至少占待镀膜面面积的预设比值；加热器，位于反应槽外，通过导管与馈入单元连通，使加热后的反应液注入馈入单元。该技术方案可以提升反应槽内反应液的浓度和温度的均匀性，避免由于反应槽的底部与上部的反应液的浓度、温度相差较大，所造成的在待镀膜衬板上沉积的薄膜的厚度不均匀的问题。

主权项

1.一种化学水浴镀膜装置，其特征在于，包括：反应槽，包括固定结构，所述固定结构用于固定放置于所述反应槽内的待镀膜衬板；馈入单元，设置在所述反应槽的槽内，与放置于所述反应槽内的所述待镀膜衬板平行，所述馈入单元内部中空，用于缓存加热后的反应液；所述馈入单元的第一侧面有喷射口，所述第一侧面为朝向所述待镀膜衬板的面，其中，所述第一侧面在所述待镀膜衬板的待镀膜面上的正投影的面积至少占所述待镀膜面面积的预设比值；加热器，位于所述反应槽外部，通过导管与所述馈入单元连通，使加热后的反应液注入所述馈入单元。