[发明专利]供给系统在审
| 申请号： | 201811235764.3 | 申请日： | 2018-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN111090220A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 郑义强 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种供给系统，包括：供应装置，用于提供液体；喷嘴；供液管路，一端与供应装置相连接，另一端与喷嘴相连接；第一液体流量计，位于供液管路与喷嘴相连接的一端处；排液管路，一端与供液管路相连通；第二液体流量计，位于排液管路上。本发明的供给系统通过在喷嘴附近的供液管路上设置第一液体流量计，并在排液管路上设置第二液体流量计，可以实时监测喷涂到晶圆上的光刻胶的量及排液管路排出的光刻胶的量，可以及时了解供给系统是否出现故障，可以避免光刻胶的浪费损耗，从而节约生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 供给 系统 | ||
【主权项】：
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