[发明专利]一种管式炉及利用该管式炉制备石墨烯/六方氮化硼异质结的方法

摘要

本发明公开了一种管式炉及利用该管式炉制备石墨烯/六方氮化硼异质结的方法。管式炉包括炉体和炉管，炉体内部设置有两个加热单元，炉管包括内管和外管，其从两个加热单元中穿过；内管内部一端放置有石英舟，另一端开设有用于安置基底的通孔，石英舟和通孔分别正对两个加热单元。制备异质结时，将铜箔放置在内管上的通孔处，先向内管中通入氮硼源，以在铜箔下表面形成六方氮化硼薄膜，待形成连续的六方氮化硼薄膜后，向外管中通入碳源，碳源在铜箔上表面形成石墨烯层，并通过铜箔扩散至铜箔下表面，在铜箔与氮化硼薄膜之间形成背底石墨烯，完成异质结的制备。采用本发明中的管式炉和制备方法，可有效解决异质结质量差以及生长过程可控性差的问题。

主权项

1.一种管式炉，其特征在于：包括炉体(1)和炉管(2)，所述炉体(1)内部两端分别设置有第一加热单元(11)和第二加热单元(12)，所述炉管(2)从第一加热单元(11)和第二加热单元(12)中穿过，并从所述炉体(1)中伸出，其一端通过流量计(3)与气源连通，另一端与真空泵(4)连通；所述炉管(2)包括内管(22)和外管(21)，所述内管(22)和外管(21)均为中空管，且内管(22)位于外管(21)内部，内管(22)与外管(21)之间形成气体通道；所述内管(22)内部一端放置有石英舟(23)，另一端开设有用于安置基底的通孔(24)，所述石英舟(23)和通孔(24)分别正对所述第一加热单元(11)和第二加热单元(12)。