[发明专利]一种磷化铟晶圆片及其外延晶圆片的衬底抛光模具在审
| 申请号： | 201811240107.8 | 申请日： | 2018-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN109397070A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 于一榛;孙夺;曹高奇;邓双燕;杨波;邵秀梅;李雪;龚海梅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于磷化铟晶圆片及其外延晶圆片抛光模具，其结构包括陶瓷沟道、陶瓷基板、配重块。在抛光垫和陶瓷基板之间起支撑作用的陶瓷沟道。通过在陶瓷基板上增加陶瓷沟道，应用本发明所述的抛光模具可以降低抛光模具的复杂程度，使抛光过程中模具自转稳定，同时加快抛光速率，以获得高平整度的衬底，并降低工艺成本。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆片 抛光模具 陶瓷基板 沟道 陶瓷 磷化铟 模具 衬底抛光 高平整度 工艺成本 抛光过程 支撑作用 自转稳定 抛光垫 配重块 抛光 衬底 应用 | ||
【主权项】：
1.一种磷化铟晶圆片及其外延晶圆片的衬底抛光模具，包括陶瓷基板(1)、陶瓷沟道(1‑1)、配重块(2)，其特征在于：待抛光的样品黏贴在陶瓷基板(1)中央，陶瓷基板(1)上有2～6组陶瓷沟道(1‑1)，均布于样品四周；每组陶瓷沟道(1‑1)由3‑10条凸起结构组成；在抛光时，模具倒扣在抛光垫上，配重块(2)置于陶瓷基板(1)上。
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