[发明专利]一种淡化光刻图案边缘痕迹的方法

摘要

本发明公开了一种淡化光刻图案边缘痕迹的方法，包括以下步骤：一、按照与印刷图案1:1的比例确定光刻专版定位纸上光刻图案的外形大小；二、将光刻图案向外扩边X1，扩边X1的大小由光刻专版定位纸预估的变形量的大小确定；三、在扩边X1的基础上再次扩边X2；四、对预留的扩边X2进行渐变处理；五、对步骤四渐变部分进行栅格化处理；六、对步骤五栅格化处理后的光刻图案进行光刻，形成母版，然后再拓片生成子版；七、将子版按照设计好的位置定位拼制到大版模压版上进行生产加工，加工工艺简单，极大的美化了视觉效果；可以允许有更大的移位偏差，避免套位漏底，提高了产品合格率。

主权项

1.一种淡化光刻图案边缘痕迹的方法，其特征在于：包括以下步骤：按照与印刷图案1:1的比例确定光刻专版定位纸上光刻图案的外形大小；将光刻图案向外扩边X1，扩边X1的大小由光刻专版定位纸预估的变形量的大小确定；在扩边X1的基础上再次扩边X2，再次扩边的距离X2是为后期做边缘淡化时预留的处理距离；对预留的扩边X2进行渐变处理；对步骤四渐变部分进行栅格化处理，使光刻图案分解成一个主图案加上若干个边缘碎片图案组成；对步骤五栅格化处理后的光刻图案进行光刻，形成母版，然后再拓片生成子版；将子版按照设计好的位置定位拼制到大版模压版上进行生产加工，淡化部分的背景色选取与光刻部位相邻地方相同的背景色。