[发明专利]用于光学元件在线表面洁净处理的装置在审
| 申请号： | 201811243263.X | 申请日： | 2018-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN108971045A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 蒋一岚;贾宝申;苗心向;吕海兵;周国瑞;刘昊;牛龙飞;姚彩珍;马志强;邹睿;刘青安;蒋晓东;周海 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 贾晓燕 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于光学元件在线表面洁净处理的装置，包括：水平运动机构，其包括导轨单元、水平滑块、水平丝杆、以及伺服电机；竖直伸缩机构，其包括竖直连接在水平滑块上的支撑块和连接在支撑块上的可伸缩机械臂；洁净处理机构，其包括连接在可伸缩机械臂顶端的水平支撑臂、连接在水平支撑臂末端的擦拭机构、连接在水平支撑臂上的无尘布传送机构、以及连接在支撑块上的无尘布收集机构；其中，无尘布传送机构上的无尘布绕过擦拭机构后收集在无尘布收集机构上；酒精擦拭辅助机构，其包括酒精壶和与酒精壶连通的抽送泵，抽送泵的输出端通过导管连接至擦拭机构。该装置可用于对光学元件的表面进行在线洁净处理，操作简单便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 无尘布 洁净处理 水平支撑臂 擦拭机构 光学元件 酒精 可伸缩机械臂 传送机构 收集机构 水平滑块 在线表面 抽送 支撑 水平运动机构 导管连接 导轨单元 辅助机构 伸缩机构 竖直连接 水平丝杆 伺服电机 装置可用 输出端 绕过 竖直 擦拭 连通 | ||
【主权项】：
1.一种用于光学元件在线表面洁净处理的装置，其特征在于，包括：水平运动机构，其包括导轨单元、滑动连接在导轨单元内的水平滑块、贯穿水平滑块且与水平滑块螺纹转动连接的水平丝杆、以及与水平丝杆连接的伺服电机；竖直伸缩机构，其包括竖直连接在水平滑块上的支撑块和连接在支撑块上的可伸缩机械臂；洁净处理机构，其包括连接在可伸缩机械臂顶端的水平支撑臂、连接在水平支撑臂末端的用于擦拭光学元件的擦拭机构、连接在水平支撑臂上的无尘布传送机构、以及连接在支撑块上的无尘布收集机构；其中，无尘布传送机构上的无尘布绕过擦拭机构后收集在无尘布收集机构上；酒精擦拭辅助机构，其包括酒精壶和与酒精壶连通的抽送泵，所述抽送泵的输出端通过导管连接至擦拭机构。
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