[发明专利]研磨装置有效
| 申请号： | 201811254519.7 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN109159020B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 杨俊铖;王先彬 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;李向英 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种研磨装置，包括：研磨平台；研磨垫，位于研磨平台上；研磨液输出结构，位于研磨垫上方，用于将研磨液输出置研磨垫上；以及研磨头，位于研磨垫上方，用于固定待研磨产品，并使待研磨产品与研磨垫接触，研磨装置还包括清除装置，与研磨液输出结构相连，位于研磨垫上方，用于提供移除使用后的研磨液的气流。本发明解决了由于使用后的研磨液稀释了初始研磨液的浓度造成的研磨速率降低的问题，达到了防止被使用后的研磨液与初始的研磨液混合的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
1.一种研磨装置，包括：研磨平台；研磨垫，位于所述研磨平台上；研磨液输出结构，位于所述研磨垫上方，用于将研磨液输出置所述研磨垫上；以及研磨头，位于所述研磨垫上方，用于固定待研磨产品，并使所述待研磨产品与所述研磨垫接触，所述研磨装置还包括清除装置，与所述研磨液输出结构相连，位于所述研磨垫上方，用于提供移除使用后的所述研磨液的气流。
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