[发明专利]一种磊晶基板的加工装置

摘要

本发明公开了一种磊晶基板的加工装置，其结构包括工作台，所述工作台上设置有支撑架、放置板、除尘装置和固定杆，所述支撑架固定连接在所述工作台的上表面，所述放置板固定连接在所述支撑架的内侧，所述除尘装置固定连接在所述工作台底部的右侧，所述固定杆固定连接在所述放置板的右侧，所述支撑架上设置有第一推动器和第二推动器，所述第一推动器固定连接在所述支撑架上端的中间处，所述第二推动器固定连接在所述支撑架上端的右侧。本发明增强了基板在切割过程中的稳定性，降低了基板切割过程中损坏的几率，提高了基板切割时长度的精确性，避免了切割下的基板与工作台发生碰撞，提高了基板加工环境的质量。

主权项

1.一种磊晶基板的加工装置，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）上设置有支撑架（2）、放置板（3）、除尘装置（4）和固定杆（5），所述支撑架（2）固定连接在所述工作台（1）的上表面，所述放置板（3）固定连接在所述支撑架（2）的内侧，所述除尘装置（4）固定连接在所述工作台（1）底部的右侧，所述固定杆（5）固定连接在所述放置板（3）的右侧，所述支撑架（2）上设置有第一推动器（6）和第二推动器（7），所述第一推动器（6）固定连接在所述支撑架（2）上端的中间处，所述第二推动器（7）固定连接在所述支撑架（2）上端的右侧，所述第一推动器（6）的下方设置有第一推动杆（8），所述第一推动杆（8）的下端设置有限位板（9），所述第二推动器（7）的下方设置有第二推动杆（10），所述第二推动杆（10）的下方设置有驱动电机（11），所述驱动电机（11）的左端设置有切割刀（12），所述放置板（3）的右侧设置有刻度尺（13），所述固定杆（5）的上端设置有缓冲板（14），所述除尘装置（4）上设置有吸尘电机（15）、吸尘管（16）、输送管（17）和装尘室（18），所述吸尘电机（15）固定连接在所述除尘装置（4）内部的右侧，所述吸尘管（16）固定连接在所述吸尘电机（15）的上端，所述输送管（17）固定连接在所述吸尘电机（15）的左端。