[发明专利]一种高储能特性的柔性钛酸铋钠基薄膜电容器及其制备方法在审
申请号: | 201811256156.0 | 申请日: | 2018-10-26 |
公开(公告)号: | CN109494076A | 公开(公告)日: | 2019-03-19 |
发明(设计)人: | 杨长红;韩亚洁;钱进;吕盼盼;陈乐欣;林秀娟;黄世峰 | 申请(专利权)人: | 济南大学 |
主分类号: | H01G4/005 | 分类号: | H01G4/005;H01G4/12;H01G4/33 |
代理公司: | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人: | 王翠翠 |
地址: | 250022 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明属于电子功能材料与器件领域,具体涉及一种高储能特性的柔性钛酸铋钠基薄膜电容器及其制备方法。本发明的薄膜电容器,由柔性云母基片、Pt薄膜底电极、铁电薄膜层和金属Pt或Au顶电极组成。本发明的薄膜电容器,以钛酸铋钠基铁电薄膜作为功能层,其化学通式为0.97(0.94Na0.5Bi0.5TiO3‑0.06BaTiO3)‑0.03BiFeO3‑xCeO2‑yMnO2,其中0≤x≤1%,0≤y≤2%,且y>x。本发明工艺简单、成本低廉,所制备的柔性钛酸铋钠基薄膜电容器耐弯折、储能密度大、储能效率高、热稳定性好、损耗低,可满足柔性储能元器件的要求。 | ||
搜索关键词: | 薄膜电容器 钛酸铋钠基 制备 高储能 储能 电子功能材料 薄膜底电极 铁电薄膜层 储能效率 化学通式 器件领域 热稳定性 铁电薄膜 云母基片 顶电极 功能层 耐弯折 元器件 金属 | ||
【主权项】:
1.一种高储能特性的柔性钛酸铋钠基薄膜电容器,其特征在于:柔性云母作为基片,金属Pt薄膜作为底电极、钛酸铋钠基铁电薄膜作为功能层,金属Pt或Au点电极作为顶电极。
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