[发明专利]兼容单/多晶黑硅的湿法背抛光装置及湿法背抛光方法在审
| 申请号： | 201811265039.0 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN109487340A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 杜欢;吴兢;赵兴国;胡勇军;阙亚萍;朱雅文 | 申请（专利权）人： | 江苏辉伦太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06;C23F1/24;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 210061 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种兼容单/多晶黑硅的湿法背抛光装置，包括载片花篮本体（1），所述载片花篮本体（1）的相对内壁上一一对应式设置有若干卡板单元（2），每一所述卡板单元（2）包括第一卡板（3）、第二卡板（4）和第三卡板（5），所述第一卡板（3）和第二卡板（4）之间的间距与所述第二卡板（4）和第三卡板（5）之间的间距相同且均为2~3mm，相邻所述卡板单元（2）之间的间距大于所述第一卡板（3）和第二卡板（4）之间的间距且为所述第一卡板（3）和第二卡板（4）之间的间距的3~4倍。本发明还公开了一种兼容单/多晶黑硅的湿法背抛光方法。本发明成本低廉、工艺稳定，黑硅结构可控且可获得极低的反射率。 | ||
| 搜索关键词： | 卡板 黑硅 湿法 多晶 兼容 花篮本体 抛光装置 抛光 工艺稳定 结构可控 反射率 内壁 载片 | ||
【主权项】：
1.兼容单/多晶黑硅的湿法背抛光装置，其特征在于，包括载片花篮本体(1)，所述载片花篮本体(1)的相对内壁上一一对应式设置有若干卡板单元(2)，每一所述卡板单元(2)包括第一卡板(3)、第二卡板(4)和第三卡板(5)，所述第一卡板(3)和第二卡板(4)之间的间距与所述第二卡板(4)和第三卡板(5)之间的间距相同且均为2～3mm，相邻所述卡板单元(2)之间的间距大于所述第一卡板(3)和第二卡板(4)之间的间距且为所述第一卡板(3)和第二卡板(4)之间的间距的3～4倍。
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