[发明专利]一种气体检测吸收腔体内部温度和压力一体化控制装置在审
申请号: | 201811265205.7 | 申请日: | 2018-10-29 |
公开(公告)号: | CN109596566A | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 张志荣;董凤忠;孙鹏帅;夏滑;李哲;崔小娟;庞涛;吴边 | 申请(专利权)人: | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
主分类号: | G01N21/39 | 分类号: | G01N21/39;G05D27/02 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 程华 |
地址: | 230000 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开一种气体检测吸收腔体内部温度和压力一体化控制装置。装置包括:气体检测吸收腔体、减压阀、电控比例阀、真空泵、压力传感器、热电偶、加热板和控制器;气体检测吸收腔体的进气管路上设置有电控比例阀和所述减压阀,气体检测吸收腔体的出气管路上设置有电控比例阀和真空泵,压力传感器与气体检测吸收腔体连接,两个电控比例阀和压力传感器分别与控制器连接;热电偶位于气体检测吸收腔体的内壁,热电偶与控制器连接,气体检测吸收腔体的外壁包裹有加热板,加热板与控制器连接。采用上述装置能够实现腔体内部温度和压力的精确控制,进而减小吸收腔体内部温度和压力的变化对检测结果的误差。 | ||
搜索关键词: | 气体检测 吸收腔体 电控比例阀 控制器连接 压力传感器 加热板 热电偶 体内部 吸收腔 减压阀 一体化控制装置 真空泵 出气管路 检测结果 腔体内部 外壁包裹 控制器 进气管 减小 内壁 | ||
【主权项】:
1.一种气体检测吸收腔体内部温度和压力一体化控制装置,其特征在于,所述装置包括:气体检测吸收腔体、减压阀、电控比例阀、真空泵、压力传感器、热电偶、加热板和控制器;所述气体检测吸收腔体的进气管路上设置有所述电控比例阀和所述减压阀,所述气体检测吸收腔体的出气管路上设置有所述电控比例阀和所述真空泵,所述压力传感器与所述气体检测吸收腔体连接,两个所述电控比例阀和所述压力传感器分别与所述控制器连接;所述热电偶位于所述气体检测吸收腔体的内壁,所述热电偶与所述控制器连接,所述气体检测吸收腔体的外壁包裹有所述加热板,所述加热板与所述控制器连接。
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