[发明专利]一种蓝宝石C向长晶方法有效
申请号: | 201811267589.6 | 申请日: | 2018-10-29 |
公开(公告)号: | CN109112631B | 公开(公告)日: | 2021-01-01 |
发明(设计)人: | 徐永亮;冯微;汪海波;于海群;张国华;邱超 | 申请(专利权)人: | 浙江昀丰新材料科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/00 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 逯长明;许伟群 |
地址: | 321000 浙江省金华*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本申请提供了一种蓝宝石C向长晶方法,所述方法采用“宝塔式”引晶和“坐锅”方式长晶,能够缩小蓝宝石晶体顶部的气泡范围并能切断晶体位错等缺陷,而且能够降低底部粘锅时给拉速籽晶断裂或夹头断裂的风险,从而提高晶体质量,提高晶体的利用率。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 方法 | ||
【主权项】:
1.一种蓝宝石C向长晶方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:步骤1,将装有氧化铝原料的坩埚放入炉腔内,对炉腔抽真空后化料,得到氧化铝溶汤;步骤2,将籽晶放入所述氧化铝溶汤中,每隔第一预设时间间隔瞬提籽晶第一预设高度,至所述晶体直径为预设直径;步骤3,将拉速降低至0,当晶体重量为装料量的第一预设重量比时,瞬提晶体第二预设高度,并增加加热功率,增加加热功率后逐渐降低加热功率,控制晶体的长晶速度小于预设长速;步骤4,当晶体重量大于第二预设重量比例时,计算所述晶体最近24小时内的平均长速v,根据所述平均长速v利用下式I计算剩余生长时间h,并且,以当前降幅速率继续降温h小时:h=Δw/v 式I其中,h表示剩余生长时间,Δw表示剩余氧化铝溶汤的重量,v表示所述晶体最近24小时内的平均长速;步骤5,根据晶体的重量调整晶体的位置,直至晶体重量在预设时间内稳定至预设重量范围。
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