[发明专利]柔性光电转换模块的制造方法以及无线充电装置及系统

摘要

本公开涉及一种柔性光电转换模块的制造方法以及无线充电装置及系统。该方法包括：将第一掩膜版图形转移至在半导体衬底的一面生成的第一掩膜保护层上，暴露出其上的待掺杂区域；对待掺杂区域进行掺杂，生成已掺杂区域；去除第一掩膜保护层；刻蚀突出已掺杂区域；在已掺杂区域和未掺杂区域上分别生成第一金属电极和第二金属电极，形成多个光电转换器件；转印至柔性衬底；对多个光电转换器件进行分离及互联，形成光电转换阵列；封装形成柔性光电转换模块。本公开实施例所提供的柔性光电转换模块的制造方法以及无线充电装置及系统，柔性光电转换模块的制造工艺简单，可实现对植入式电子设备的无线充电。

主权项

1.一种柔性光电转换模块的制造方法，其特征在于，所述柔性光电转换模块用于为植入式电子设备充电，所述方法包括：在半导体衬底的一面生成第一掩膜保护层；将第一掩膜版图形转移至所述第一掩膜保护层，暴露出所述半导体衬底上的待掺杂区域；对所述待掺杂区域进行掺杂，生成已掺杂区域；去除所述第一掩膜保护层；对所述半导体衬底上的未掺杂区域进行刻蚀，突出所述已掺杂区域，其中，所述未掺杂区域是所述半导体衬底上除所述已掺杂区域以外的区域；在所述已掺杂区域和所述未掺杂区域上分别生成第一金属电极和第二金属电极，形成多个光电转换器件；将所述多个光电转换器件转印至柔性衬底；对所述多个光电转换器件进行分离及互联，形成光电转换阵列；采用生物兼容性材料对所述光电转换阵列进行封装，形成所述柔性光电转换模块。