[发明专利]一种硅片刷片机

摘要

本发明涉及一种硅片刷片机，包括料盘升降装置、传送装置和转动装置，所述的工作台上端中部安装有转动装置，该转动装置的前、后方对称布置有传送装置，所述的传送装置靠近转动装置的一侧安装有放置座，该传送装置的另一侧安装有料盘升降装置，所述的放置座与转动装置之间设置有转运装置。本发明通过高转速电机控制吸盘转动，升降气缸控制圆盘刷上下升降，旋转气缸控制摆杆轴带着圆盘刷一起转动，自动化程度高，大大降低了人工成本。本发明通过吸盘吸住硅片进行清洗，可以避免对硅片表面的损伤；通过料盘升降装置实现料盘盒的升降，方便将料盘盒中的硅片从下往上依次一个一个送去清洗，自动化程度高，大大降低了人工成本。

主权项

1.一种硅片刷片机，包括料盘升降装置(28)、传送装置(29)和转动装置(32)，其特征在于：所述的工作台(2)上端中部安装有转动装置(32)，该转动装置(32)的前、后方对称布置有传送装置(29)，所述的传送装置(29)靠近转动装置(32)的一侧安装有放置座(30)，该传送装置(29)的另一侧安装有料盘升降装置(28)，所述的放置座(30)与转动装置(32)之间设置有转运装置(31)；所述的转动装置(32)包括清洗腔底罩(4)、高转速电机(15)和真空罩杯(19)，所述的工作台(2)上端安装有清洗腔底罩(4)，该清洗腔底罩(4)上端安装有清洗腔排水罩(5)，所述的清洗腔排水罩(5)上端中部安装有真空罩杯(19)，所述的清洗腔底罩(4)内竖直安装有高转速电机(15)，该高转速电机(15)上端的输出轴连接有驱动轴(20)，所述的驱动轴(20)的上端竖直穿过真空罩杯(19)与第一吸盘(7)相连，该驱动轴(20)内设置有连接第一吸盘(7)与真空罩杯(19)腔体的管路(21)，所述的真空罩杯(19)一侧开有与抽真空设备相连的接口(22)，所述的高转速电机(15)一侧设置有相配的减速装置，所述的工作台(2)的上端位于清洗腔底罩(4)的一侧安装有刷洗装置(33)；所述的刷洗装置(33)包括转动升降机构、圆头刷(8)和刷洗电机(9)，所述的转运装置(31)包括转动升降机构和第二吸盘(48)；所述的转动升降机构包括摆杆轴座(10)、摆杆轴(11)和旋转气缸(12)，该摆杆轴座(10)内安装有上下滑动的摆杆轴(11)，所述的工作台(2)下方通过第一导杆(25)与底板(26)相连，该底板(26)的下端中部竖直安装有升降气缸(14)，所述的升降气缸(14)的活塞杆穿过底板(26)与升降台(13)相连，该升降台(13)的两侧套接在第一导杆(25)中部，所述的升降台(13)上端安装有与摆杆轴(11)下端相连的旋转气缸(12)，所述的摆杆轴(11)的上端一侧竖直安装有刷毛电机(9)或者竖直安装有第二吸盘(48)，所述的刷毛电机(9)下端的输出轴上安装有圆盘刷(8)。