[发明专利]一种光电传感器装置及真空镀膜设备在审
| 申请号： | 201811276956.9 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN109269534A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 柴国敬;邝斌;王志海;陈金良;齐鹏飞;戴春田 | 申请（专利权）人： | 中山瑞科新能源有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 李旭亮 |
| 地址： | 528400 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光电传感器装置，包括：筒体、视窗件和光电传感器，所述光电传感器设置于所述视窗件背离所述筒体的一侧表面上。因此筒体与真空镀膜设备相连接时，镀膜物质只能穿过筒体内部的通道才能到达视窗件处，绝大部分的镀膜物质会被筒体的内壁吸附，大大地减少镀膜物质积聚于视窗件处，有效延长了光电传感器检测使用时间。本发明还提供了一种真空镀膜设备，包括一真空腔体，所述真空腔体上配置上述的光电传感器装置，所述筒体远离所述光电传感器的一端与所述真空腔体相连接且与该真空腔体的内部相连通。 | ||
| 搜索关键词： | 真空腔体 视窗 筒体 光电传感器装置 真空镀膜设备 光电传感器 镀膜物质 光电传感器检测 内壁吸附 筒体内部 被筒体 积聚 背离 穿过 配置 | ||
【主权项】：
1.一种光电传感器装置，其特征在于，包括：筒体(10)，所述筒体(10)的内部开设有一贯穿整个筒体(10)的通道；视窗件(20)，所述视窗件(20)设置于所述筒体(10)一端的开口处；光电传感器(30)，所述光电传感器(30)设置于所述视窗件(20)背离所述筒体(10)的一侧表面上；所述筒体(10)远离所述光电传感器(30)的一端可与真空镀膜设备相连接。
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