[发明专利]一种多通道链式湿法设备有效
| 申请号： | 201811280317.X | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN109346425B | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 左国军;成旭;邱瑞 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 吴敏;孙洁敏 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多通道链式湿法设备，包括：外壳、安装在外壳内部的传动装置和主槽组，外壳的左侧设有上料部、右侧设有下料部，传动装置将硅片由上料部向下料部运送，主槽组包括由上料部向下料部依次排列的若干个主槽，主槽组的上方设有抽风系统和补液系统，主槽组的下方设有副槽组。本发明能在不增加设备体积的基础上提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通道 链式 湿法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种多通道链式湿法设备，包括：外壳、安装在所述外壳内部的传动装置和主槽组，所述外壳的左侧设有上料部、右侧设有下料部，所述传动装置将硅片由上料部向下料部运送，所述主槽组包括由上料部向下料部依次排列的若干个主槽；其特征在于，所述主槽组的正上方设有抽风系统，所述抽风系统包括：覆盖所述主槽组形成抽风腔的盖板组、连通所述抽风腔和所述外壳外部的抽风通道组。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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