[发明专利]图像生成方法、图像生成装置以及使用其的缺陷确定方法在审
| 申请号： | 201811281219.8 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN109724982A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 桥口英则;植村卓典 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 公开了图像生成方法、图像生成装置以及使用其的缺陷确定方法。提供了一种图像生成方法，其生成目标物体的表面的图像，包括：使放置在第一位置处的图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面作为第一图像捕获，所述周期性结构体包括以预定周期P交替的透射区域和透射率比透射区域低的非透射区域，使放置在不同于第一位置的第二位置处的图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面作为第二图像捕获，和使用第一捕获图像和第二捕获图像来生成表面图像，其中第一和第二位置在周期性结构体的周期性方向上彼此不同。 | ||
| 搜索关键词： | 周期性结构 透射区域 图像生成 图像捕获单元 图像生成装置 捕获目标 捕获图像 第二位置 第一位置 缺陷确定 图像捕获 周期性方向 表面图像 目标物体 预定周期 交替的 透射率 图像 | ||
【主权项】：
1.一种用于生成目标物体的表面的表面图像的图像生成方法，其特征在于，所述图像生成方法包括：作为第一图像捕获，使放置在第一位置处的图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面，所述周期性结构体包括透射区域和透射率比透射区域低的非透射区域，所述透射区域和非透射区域在周期性方向上以预定周期P交替布置；作为第二图像捕获，使放置在不同于第一位置的第二位置处的图像捕获单元通过所述周期性结构体捕获目标物体的表面；和使用在第一图像捕获中获得的第一捕获图像和在第二捕获中获得的第二捕获图像来生成表面图像，其中第一位置和第二位置在所述周期性结构体的周期性方向上彼此不同。
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