[发明专利]碲锌镉衬底表面加工方法、装置及组件有效
| 申请号： | 201811282244.8 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN109524504B | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 侯晓敏;刘江高;张瑛侠;徐强强;吴卿;孙浩 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 齐洁茹 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种碲锌镉衬底表面加工方法及装置，其中碲锌镉衬底表面加工方法包括：制作陪片；将所述陪片环绕碲锌镉衬底的边缘与碲锌镉衬底进行粘结；将粘结有陪片的碲锌镉衬底表面进行抛光处理。本发明实施例通过在大面积碲锌镉衬底的四周增加陪片，来增大抛光面积，由于抛光工艺固有的“塌边”现象是在一定区域内较为严重的，通常约为5mm左右，控制晶片抛光过程中产生的“塌边”区域，使得“塌边”区域控制在陪片区域内，提高碲锌镉晶片的表面平整度。 | ||
| 搜索关键词： | 碲锌镉 衬底 表面 加工 方法 装置 组件 | ||
【主权项】：
1.一种碲锌镉衬底表面加工方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：制作陪片；将所述陪片环绕碲锌镉衬底的边缘与碲锌镉衬底进行粘结；将粘结有陪片的碲锌镉衬底表面进行抛光处理。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第十一研究所，未经中国电子科技集团公司第十一研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811282244.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
