[发明专利]平板探测器结构及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201811283739.2 申请日: 2018-10-31
公开(公告)号: CN109585477B 公开(公告)日: 2021-03-19
发明(设计)人: 罗宏德;金利波 申请(专利权)人: 奕瑞影像科技(太仓)有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;G01N23/083;G01N23/085
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 佟婷婷
地址: 215434 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种平板探测器结构及其制备方法,制备方法包括:提供基底,于基底上制备下电极层;提供射线吸收材料液体,射线吸收材料液体包括含铅化合物液体;将射线吸收材料液体涂布于下电极层上,以基于涂布的射线吸收材料液体于下电极层上制备转光层;于转光层上制备上电极层。本发明改进了现有的转光层的材料,提高了转光层的射线吸收能力,减小了转光层的厚度,对转光层等的形成方法进行设计,解决了形成多晶结构存在的问题,提高器件化学组成及相的均一性,提高图像的均匀性,提高原料的有效利用率,简化工艺设备,对探测器的结构进行设计,改善了漏电流的问题,降低了探测器的噪声,提高了灵敏度及对比度,改善了探测器电极材料,降低成本。
搜索关键词: 平板 探测器 结构 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种平板探测器结构的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:提供基底,并于所述基底上制备下电极层;提供射线吸收材料液体,其中,所述射线吸收材料液体包括含铅化合物液体;将所述射线吸收材料液体涂布于所述下电极层上,以基于涂布的所述射线吸收材料液体于所述下电极层上制备转光层;以及于所述转光层上制备上电极层。
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