[发明专利]蒸镀坩埚、蒸镀源装置及蒸镀设备在审
| 申请号： | 201811289906.4 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN109055899A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 刘辉强;冯永山;钟纪奇;尹麒杰;毛埼帆 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种蒸镀坩埚、蒸镀源装置及蒸镀设备。所述蒸镀坩埚包括埚体和多个隔板。所述埚体具有容置腔，所述容置腔具有开放端。多个所述隔板可拆卸地设于所述容置腔中，并沿预设方向分布，以将所述容置腔分隔为多个容置空间。通过用隔板将容置腔分隔为多个容置空间，进而使存在于容置腔中的液体被收容于多个容置空间，而单个容置空间内的液体质量轻，惯性小，从而降低了液体重心的偏移程度，减弱了液体的震荡幅度；同时，由于隔板可拆卸地设于埚体的容置腔中，从而能够方便调节隔板的数量，提高使用灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 容置腔 隔板 容置空间 蒸镀 坩埚 埚体 蒸镀设备 可拆卸 蒸镀源 分隔 使用灵活性 方便调节 液体重心 开放端 偏移 预设 收容 震荡 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：埚体，具有容置腔，所述容置腔具有开放端；多个隔板，可拆卸地设于所述容置腔中，并沿预设方向分布，以将所述容置腔分隔为多个容置空间。
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