[发明专利]一种MEMS麦克风封装结构在审
申请号: | 201811290135.0 | 申请日: | 2018-10-31 |
公开(公告)号: | CN109348388A | 公开(公告)日: | 2019-02-15 |
发明(设计)人: | 庞胜利;王顺 | 申请(专利权)人: | 歌尔股份有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人: | 王昭智;马佑平 |
地址: | 261031 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种MEMS麦克风封装结构。该封装结构包括:基板、MEMS芯片、壳体以及调节件,所述壳体与所述基板固定连接,构成容纳所述MEMS芯片的封装结构主体;所述封装结构主体上开设有声孔,所述MEMS芯片设置在远离所述声孔的位置,所述MEMS芯片经所述声孔与外部连通;所述调节件设置在所述封装结构主体内,所述调节件在正对所述声孔的位置形成有缓冲凹陷部,所述缓冲凹陷部的开口朝向所述声孔,所述缓冲凹陷部被配置为,削弱进入所述声孔的气流强度。本发明的一个技术效果在于,提高MEMS麦克风封装结构的抗气流冲击的性能,提高麦克风的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 封装结构 声孔 凹陷部 缓冲 壳体 抗气流冲击 基板固定 技术效果 外部连通 麦克风 基板 正对 开口 容纳 削弱 配置 | ||
【主权项】:
1.一种MEMS麦克风封装结构,其特征在于,包括基板、MEMS芯片、壳体以及调节件,所述壳体与所述基板固定连接,构成容纳所述MEMS芯片的封装结构主体;所述封装结构主体上开设有声孔,所述MEMS芯片设置在远离所述声孔的位置,所述MEMS芯片经所述声孔与外部连通;所述调节件设置在所述封装结构主体内,所述调节件在正对所述声孔的位置形成有缓冲凹陷部,所述缓冲凹陷部的开口朝向所述声孔,所述缓冲凹陷部被配置为,削弱进入所述声孔的气流强度。
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