[发明专利]晶圆保护纸自动剥离设备

摘要

本发明涉及晶圆保护纸自动剥离设备，机架固定在底板上，真空吸压装置包含夹紧气缸和连接柱，连接柱固定于底板上，支撑板安装于连接柱上，真空板置于支撑板上，夹紧气缸安装在支撑板上，真空吸头安装于真空板上；保护纸剥离装置包含安装板和Z轴直线模组，Z轴直线模组安装于安装板上，Z轴直线模组上安装Z轴安装板，Z轴安装板上安装旋转气缸，旋转气缸上安装气爪，气爪上设有上保护纸夹块和下保护纸夹块；斜向运动装置包含滑动板和斜向直线模组，滑动板安装在斜向直线模组上；斜向直线模组吊装在机架上；滑动板与保护纸剥离装置的安装板连接。气爪夹紧晶圆保护纸在直线模组的驱动下将其剥离，有效提高剥离动作的一致性，避免蓝膜产生褶皱。

主权项

1.晶圆保护纸自动剥离设备，其特征在于：包括真空吸压装置、保护纸剥离装置、斜向运动装置、底板以及机架，机架固定在底板上；所述真空吸压装置包含夹紧气缸、真空吸头、真空板、支撑板和连接柱，连接柱固定于底板上，支撑板安装于连接柱上，真空板置于支撑板上，夹紧气缸安装在支撑板上且可上下调节，真空吸头安装于真空板上且可上下调节；所述保护纸剥离装置包含安装板、Z轴直线模组、Z轴安装板、旋转气缸、气爪、上保护纸夹块以及下保护纸夹块，Z轴直线模组安装于安装板上，Z轴直线模组上安装Z轴安装板，Z轴安装板上安装旋转气缸，旋转气缸上安装气爪，气爪上设有上保护纸夹块和下保护纸夹块；所述斜向运动装置包含滑动板和斜向直线模组，滑动板安装在斜向直线模组上；斜向直线模组吊装在机架上；滑动板与保护纸剥离装置的安装板连接。