[发明专利]一种平面和旋转靶材解绑定的装置及方法在审
| 申请号： | 201811294930.7 | 申请日： | 2018-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN109161862A | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 陆映东;张倍维;梁盈祥;莫斌;覃当凤 | 申请（专利权）人： | 广西晶联光电材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 | 代理人： | 韦微 |
| 地址： | 545616 广西壮族自治区柳州市柳*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种平面和旋转靶材解绑定的装置及方法，包括油浴槽、加热组件、平面靶材栅格托架、旋转靶材托架和集铟篮，油浴槽的底面为倾斜设置，油浴槽底面的最低处开有集铟篮放置凹槽，所述集铟篮放置在集铟篮放置凹槽内，所述加热组件是由连接杆和均匀安装在连接杆上的多个加热棒组成，加热组件安装在油浴槽内，所述平面靶材栅格托架包括多块其上开有小孔的隔板，多块隔板间隔一定距离倾斜排列，多块隔板的两侧均是通过上连杆和下连杆连接，所述旋转靶材托架是由两根导轨和滑动安装在导轨上的旋转靶材托构成。本发明适用于对采用铟金属绑定的靶材进行解绑，可对平面和旋转靶材进行批量解绑定，解绑温度均匀，解绑后靶材完好，解绑效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转靶材 油浴槽 托架 加热组件 解绑定 多块 隔板 放置凹槽 平面靶材 连接杆 靶材 栅格 隔板间隔 滑动安装 均匀安装 两根导轨 倾斜排列 倾斜设置 温度均匀 加热棒 上连杆 下连杆 绑定 导轨 底面 小孔 金属 | ||
【主权项】：
1.一种平面和旋转靶材解绑定的装置，其特征在于：包括油浴槽、加热组件、平面靶材栅格托架、旋转靶材托架和集铟篮，油浴槽的底面为倾斜设置，油浴槽底面的最低处开有集铟篮放置凹槽，所述集铟篮放置在集铟篮放置凹槽内，所述加热组件是由连接杆和均匀安装在连接杆上的多个加热棒组成，加热组件安装在油浴槽内，所述平面靶材栅格托架包括多块其上开有小孔的隔板，多块隔板间隔一定距离倾斜排列，多块隔板的两侧均是通过上连杆和下连杆连接，所述旋转靶材托架是由两根导轨和滑动安装在导轨上的旋转靶材托构成。
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