[发明专利]一种用于制造非晶硅薄膜的磨边装置

摘要

本发明公开了一种用于制造非晶硅薄膜的磨边装置，包括装置本体，装置本体由磨边室和伸缩移动柱组成，磨边室设有进料口和出料口，磨边室内的传输辊驱动连接驱动电机，传输辊之间设有打磨电机，打磨电机的输出端通过联轴器连接打磨棒，打磨电机固定安装的滑块二螺纹连接螺纹杆三，滑块二下端面固定连接的滑动杆滑动连接固定杆二，固定杆二内的支撑弹簧两端面固定连接滑块一和固定杆二，固定杆二下端面安装的滚轮滚动连接磨边室底面，磨边室的内壁设有吸头并通过抽风机和回收管连接收集箱内底部，磨边室下端面固定安装伸缩移动柱。本发明的磨边装置定位准确不会对硅基板打磨时造成损坏，对打磨产生的碎屑进行收集，避免对操作者健康造成损害。

主权项

1.一种用于制造非晶硅薄膜的磨边装置，包括装置本体（1），其特征在于，所述装置本体（1）由磨边室（2）和伸缩移动柱（6）组成，所述磨边室（2）左右端面分别设有进料口（5）和出料口（10），所述进料口（5）和出料口（10）之间均匀设有传输辊（34），所述传输辊（34）的两端固定安装驱动轴，所述驱动轴通过轴承转动连接磨边室（2）内壁，且延伸出磨边室（2），驱动轴通过联轴器连接驱动电机（44），所述传输辊（34）上固定安装齿轮，齿轮通过链条（43）传动连接，所述传输辊（34）之间设有打磨电机（36），所述打磨电机（36）的输出端通过联轴器连接打磨棒（35），所述打磨电机（36）固定安装在滑块二（37）上，所述滑块二（37）螺纹连接螺纹杆三（38），所述螺纹杆三（38）通过轴承转动连接磨边室（2）内壁，且延伸出磨边室（2），所述螺纹杆三（38）固定连接把手四，所述滑块二（37）下端面固定连接滑动杆（42），所述滑动杆（42）固定连接滑块一，滑块一滑动连接中空的固定杆二（39），所述固定杆二（39）内设有支撑弹簧（41），所述支撑弹簧（41）两端面固定连接滑块一和固定杆二（39），所述固定杆二（39）下端面安装滚轮（40），所述滚轮（40）滚动连接磨边室（2）底部上设有滑槽，磨边室（2）的底面为倾斜设置，且设有卸渣口（27），所述磨边室（2）的内壁上均匀铰接吸头（26），所述吸头（26）通过抽风机（33）和回收管连接收集箱（31）内底部，所述收集箱（31）内滑动连接抽拉收集抽屉，抽拉收集抽屉上固定安装推拉把手（30），所述收集箱（31）内壁固定安装滤袋（32），收集箱（31）设有连通到磨边室（2）外部的泄气口，泄气口内固定安装过滤网，所述磨边室（2）下端面固定安装伸缩移动柱（6）。