[发明专利]一种光学检测系统有效
| 申请号： | 201811296605.4 | 申请日： | 2018-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN109270077B | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 丁万春;范伟 | 申请（专利权）人： | 通富微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 钟子敏 |
| 地址： | 226000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种光学检测系统，所述光学检测系统包括：基台，包括相背设置的第一面和第二面，所述第一面用于承载待检测样品；第一检测组件和第二检测组件，分别位于所述基台的所述第一面一侧和所述第二面一侧，且检测方向分别对着所述基台的所述第一面和所述第二面，所述第一检测组件用于直接获得所述待检测样品第一表面的第一图像，所述第二检测组件用于透过所述基台获得相背的所述待检测样品第二表面的第二图像，以结合所述待检测样品的所述第一图像和所述第二图像来判断所述待检测样品是否存在缺陷。通过上述方式，本申请能够提高缺陷检测的效率和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 检测 系统 | ||
【主权项】：
1.一种光学检测系统，其特征在于，所述光学检测系统包括：基台，包括相背设置的第一面和第二面，所述第一面用于承载待检测样品；第一检测组件和第二检测组件，分别位于所述基台的所述第一面一侧和所述第二面一侧，且检测方向分别对着所述基台的所述第一面和所述第二面，所述第一检测组件用于直接获得所述待检测样品第一表面的第一图像，所述第二检测组件用于透过所述基台获得相背的所述待检测样品第二表面的第二图像，以结合所述待检测样品的所述第一图像和所述第二图像来判断所述待检测样品是否存在缺陷。
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