[发明专利]一种旋转靶材在线打磨装置及打磨方法在审
| 申请号： | 201811296684.9 | 申请日： | 2018-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN111113160A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 周伟东;张顺 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B19/00;B24B51/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;李相雨 |
| 地址： | 102299 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种旋转靶材在线打磨装置及打磨方法，所述装置包括遮挡构件及打磨构件；在打磨状态，所述遮挡构件及打磨构件形成封闭空间用于包围旋转靶材；其中，所述打磨构件与所述旋转靶材相接触；在非打磨状态，所述遮挡构件及打磨构件远离所述旋转靶材。本发明实施例提供的旋转靶材在线打磨装置及打磨方法，通过设置可以活动的第一挡板、第二挡板和打磨滚筒，实现靶材在线打磨，提高靶材打磨效率，使打磨靶材变得省时省力，实现了自动化，解放了人力；同时减少了粉尘和有毒物质危害。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 在线 打磨 装置 方法 | ||
【主权项】：
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