[发明专利]一种压力传感器在审
| 申请号： | 201811296933.4 | 申请日： | 2018-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN111122027A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 孙业超;尚海平;王英辉 | 申请（专利权）人： | 中科院微电子研究所昆山分所 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01L9/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压力传感器，设置有与敏感膜片相接触的至少两组压阻条组，其中每个压阻条组均包括有四个压阻条。上述压阻条均可以通过引线与基板表面的引线电极电连接，从而使得每一个压阻条组均可以构成一个惠斯通电桥。在压力传感器中设置多个由压阻条组所构成的多个惠斯通电桥，在使用过程中可以仅仅使用一组压阻条组，而其他压阻条组可以作为冗余备份使用。而当设置在压力传感器中任一组压阻条组可以使用时，整个压力传感器即可使用，从而极大的增加了压力传感器的良品率；若任一压阻条组所构成的惠斯通电桥产生问题时，可以随时更换成由其他压阻条组所构成的惠斯通电桥，从而极大的增加压力传感器的使用寿命以及可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 | ||
【主权项】：
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