[发明专利]一种配向膜脱膜剂组合物及脱膜工艺有效
申请号: | 201811298244.7 | 申请日: | 2018-11-02 |
公开(公告)号: | CN109439468B | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 徐杨;邵勇;朱龙;陈林;承明忠;周勰;殷福华;赵文虎 | 申请(专利权)人: | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C11D7/04 | 分类号: | C11D7/04;C11D7/06;C11D7/16;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;C11D7/60;G02F1/1337 |
代理公司: | 无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348 | 代理人: | 杜兴 |
地址: | 214400 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种配向膜脱膜剂组合物,主要组成为碱性组分、非质子极性溶剂、有机醇溶剂和水,碱性组分中包含吗啉和/或具有吗啉环仲胺基团的吗啉衍生物。本发明配向膜脱膜剂组合物中引入了具有仲胺基团的吗啉和/或吗啉衍生物,吗啉分子结构中具有仲胺基团,因此其水溶液具有强碱性,可部分替代或者全部替代碱金属氢氧化物,降低脱膜剂组合物中的碱金属氢氧化物含量,不伤底层ITO及金属层;配向膜脱膜剂组合物中的水含量高,有助于提高配向膜脱膜过程中的的安全系数。本发明还公开了一种配向膜脱膜剂组合物的脱膜工艺。 | ||
搜索关键词: | 一种 膜脱膜剂 组合 工艺 | ||
【主权项】:
1.一种配向膜脱膜剂组合物,其特征在于,主要组成为碱性组分、非质子极性溶剂、有机醇溶剂和水,碱性组分中包含吗啉和/或具有吗啉环仲胺基团的吗啉衍生物。
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