[发明专利]离子检测装置及其制造方法、FAIMS系统有效
申请号: | 201811299375.7 | 申请日: | 2018-11-02 |
公开(公告)号: | CN110006985B | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 氏本胜也;洼田进一;丹国广 | 申请(专利权)人: | 株式会社理光 |
主分类号: | G01N27/624 | 分类号: | G01N27/624 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陆悦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及离子检测装置、离子检测装置的制造方法及场不对称波形离子迁移谱分析系统,其目的在于获得具有优异检测感度的离子检测装置。本发明的离子检测装置(100)具有如下部件:离子过滤器(110),其中具备相互对置的第一电极(111)和第二电极(112);离子检测电极(120),其与通过离子过滤器(110)的离子发生碰撞;以及,固体的绝缘部件(130),用于将离子检测电极(120)与第一电极(111)和第二电极(112)电绝缘。 | ||
搜索关键词: | 离子 检测 装置 及其 制造 方法 faims 系统 | ||
【主权项】:
1.一种离子检测装置,其特征在于,具备,离子过滤器,其中具备彼此对置的第一电极和第二电极;离子检测电极,其与通过所述离子过滤器的通过离子发生碰撞;以及,固体的绝缘部件,用于将所述离子检测电极与所述第一电极以及所述第二电极电绝缘。
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