[发明专利]镀膜腔室、镀膜设备及改善镀膜基板翘度的方法在审
| 申请号： | 201811303260.0 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN111139435A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 辛科;杨立红 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种镀膜腔室、镀膜设备及改善镀膜基板翘度的方法，方法包括：控制镀膜基板进入镀膜腔室的温度达到第一预设温度；控制镀膜腔室的顶盖板上的第一加热区及第二加热区的加热温度，使镀膜基板在达到第二预设温度后继续在镀膜腔室中蒸镀的时间缩短；第二预设温度高于第一预设温度，第二预设温度为合金的液相点所对应的温度。本发明的方法推迟了镀膜基板达到合金液相点所对应的温度的时间，缩短了镀膜基板在达到软化、下垂所对应的温度后继续在镀膜腔室中被加热、蒸镀的时间，改善了CIGS镀膜基板的翘度，避免了后续的化学水浴沉积工序、透明导电膜制备工序中出现破片，以及层压工序中出现层压碎片，避免镀膜基板发生损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 设备 改善 基板翘度 方法 | ||
【主权项】：
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