[发明专利]一种扫描测试方法在审
| 申请号： | 201811303521.9 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN109270425A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 莫保章;周波;王靓;赵朝珍 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种扫描测试方法，涉及晶体管电性参数测试领域，方法包括：根据晶体管电性测试的特性，确定扫描过程所依赖的基准值，然后以基准值为起始值开始扫描，将扫描得到的信号值与测试参数的目标值进行比较，继续向偏向目标值的方向进行渐进式扫描测试，在渐进式扫描过程中，还可以通过调整扫描步幅进一步加快扫描速度的同时提高扫描精度。本发明的扫描测试方法，不再从开始值进行扫描，而是直接从基准值进行扫描，扫描时间可减少75％以上，同时优化扫描测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 扫描测试 渐进式扫描 晶体管 电性参数测试 测试 测试参数 电性测试 调整扫描 扫描过程 优化扫描 | ||
【主权项】：
1.一种扫描测试方法，适用于晶体管电性测试的过程中，其特征在于，包括如下步骤：S1、根据所述晶体管电性测试的特性，确定本次扫描所依赖的基准值；S2、在所述晶体管电性测试的过程中，以所述基准值作为起始值进行扫描，直至扫描得到所述晶体管电性测试所规定的目标信号值或者扫描结束为止；S3、输出停止扫描时得到的信号值，作为本次扫描的扫描结果。
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