[发明专利]一种采用干冰清洗模具的方法在审
申请号: | 201811306603.9 | 申请日: | 2018-11-05 |
公开(公告)号: | CN111136066A | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 洪勇 | 申请(专利权)人: | 成都精集通信技术有限公司 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00;B08B3/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610000 四川省成都市成华*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种采用干冰清洗模具的方法,它包括以下具体步骤:加热待清洗的模具;根据待清洗模具表面的污垢程度从储存干冰处获取相应数量的干冰;手持冷喷枪,按动冷喷枪按钮,将喷嘴对准半模具的污垢表面,喷射干冰颗粒,使其表面污垢急剧冷冻至脆化及爆裂。本发明替代了传统的利用洗模条、清模条、润模条或洗模水及碱性化学药剂清洗半导体模具的清洗方法,传统方法中热熔后的洗模条、清模条会产生有毒气体,不够环保,避免了因使用洗模条、清模条或润模条或洗模水及碱性化学药剂清洗产生的环境污染问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 采用 干冰 清洗 模具 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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