[发明专利]一种采用干冰清洗模具的方法在审

专利信息
申请号: 201811306603.9 申请日: 2018-11-05
公开(公告)号: CN111136066A 公开(公告)日: 2020-05-12
发明(设计)人: 洪勇 申请(专利权)人: 成都精集通信技术有限公司
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00;B08B3/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 610000 四川省成都市成华*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种采用干冰清洗模具的方法,它包括以下具体步骤:加热待清洗的模具;根据待清洗模具表面的污垢程度从储存干冰处获取相应数量的干冰;手持冷喷枪,按动冷喷枪按钮,将喷嘴对准半模具的污垢表面,喷射干冰颗粒,使其表面污垢急剧冷冻至脆化及爆裂。本发明替代了传统的利用洗模条、清模条、润模条或洗模水及碱性化学药剂清洗半导体模具的清洗方法,传统方法中热熔后的洗模条、清模条会产生有毒气体,不够环保,避免了因使用洗模条、清模条或润模条或洗模水及碱性化学药剂清洗产生的环境污染问题。
搜索关键词: 一种 采用 干冰 清洗 模具 方法
【主权项】:
暂无信息
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