[发明专利]一种折射式位移传感器及其测量方法在审
| 申请号： | 201811308026.7 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN109084691A | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 张白;康学亮 | 申请（专利权）人： | 北方民族大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京市领专知识产权代理有限公司 11590 | 代理人： | 林辉轮;张玲 |
| 地址： | 750021 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种折射式位移传感器及其测量方法，位移传感器包括：三角波反射镜，包括至少一个反射面，所述至少一个反射面沿移动方向依次分布；激光源，用于发射出激光束，且所述激光束入射至三角波反射镜的一个反射面；折射镜，用于接收所述反射面反射的激光束，并使接收的激光束发生折射；光电探测器，用于接收经折射镜折射的激光束，并测量其入射位置；处理系统，用于根据光电探测器接收到的激光束的入射位置变化量，计算出被测物体的位移变化值。本发明一种折射式位移传感器，通过折射镜的设置，可以使得在增加位移传感器放大倍数的同时，降低激光入射至光电探测器的角度，从而提高位移传感器的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 位移传感器 激光束 反射面 光电探测器 折射镜 折射式 测量 入射位置 反射镜 三角波 入射 折射 被测物体 处理系统 位移变化 移动方向 变化量 激光源 反射 放大 激光 发射 | ||
【主权项】：
1.一种折射式位移传感器，其特征在于，包括：三角波反射镜，包括至少一个反射面，所述至少一个反射面沿移动方向依次分布；激光源，用于发射出激光束，且所述激光束入射至三角波反射镜的一个反射面；折射镜，用于接收所述反射面反射的激光束，并使接收的激光束发生折射；光电探测器，用于接收经折射镜折射的激光束，并测量其入射位置；处理系统，用于根据光电探测器接收到的激光束的入射位置变化量，计算出被测物体的位移变化值。
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