[发明专利]五通道多色滤光片的光学膜层制备方法在审
| 申请号： | 201811308617.4 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN109164528A | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 王济洲;王云飞;王小军;李凯朋;王田刚;杨登强;鲍鑫;李锦磊 | 申请（专利权）人： | 无锡泓瑞航天科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G03B33/04;G03B33/10 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 王闯;葛莉华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及光学薄膜制备技术领域，具体涉及一种五通道多色滤光片的光学膜层制备方法，先对真空室和基底进行清洗，然后将基地放入真空室内抽真空，待基底加热至200℃后采用离子束轰击清洗基底，再用电子枪蒸发法分别在基底的一侧逐层交替沉积氧化钛膜层和二氧化硅膜层形成膜系1，在另一侧逐层交替沉积氧化钛膜层和二氧化硅膜层形成膜系2、膜系3、膜系4、膜系5和膜系6，待冷却至室温后取出，并采用分光光度计进行测试，采用UVWINLAB软件对其光谱线进行计算，按照航天部标准“QJ1697‑89”中关于膜层表面质量、附着力和环境性的试验要求进行试验，大大提高了产品的成品率，减低了产品的成本，适用于空间遥感系统中全光谱相机等。 | ||
| 搜索关键词： | 膜系 基底 二氧化硅膜层 多色滤光片 氧化钛膜层 光学膜层 交替沉积 制备 清洗 附着力 光谱线 光学薄膜制备 分光光度计 离子束轰击 全光谱相机 基底加热 空间遥感 膜层表面 试验要求 成品率 抽真空 电子枪 环境性 真空室 蒸发法 放入 冷却 取出 室内 测试 试验 基地 | ||
【主权项】：
1.一种五通道多色滤光片的光学膜层制备方法，其特征在于：包括如下步骤：S1：以蓝宝石为基底，采用吸尘器清除真空室内的杂质，用脱脂纱布蘸无水乙醇擦拭干净真空室的内壁，再先后采用无水丙酮和无水乙醇分别对基底进行微波超声15min，并用脱脂棉将基底擦拭干净，最后将干净的基底安装到夹具上并快速装入真空室，抽真空至3×10‑5Torr；S2：将基底加热至200℃，并保持30min；S3：采用离子束轰击的方式清洗基底10min；S4：采用离子束辅助的电子枪蒸发法在基底的一侧逐层交替沉积氧化钛膜层和二氧化硅膜层形成膜系1，在基底的另一侧逐层交替沉积氧化钛膜层和二氧化硅膜层形成膜系2、膜系3、膜系4、膜系5和膜系6；S5：待基底自然冷却至室温，取出制备得到的产品；S6：采用分光光度计在300K的低温环境下对产品进行性能测试，并按照航天部标准“QJ1697‑89”中关于膜层表面质量、附着力和环境性的试验要求进行试验。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡泓瑞航天科技有限公司，未经无锡泓瑞航天科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811308617.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：五通道多色滤光片
- 下一篇：高采样率实时偏振成像的微偏振片阵列及其成像装置
