[发明专利]一种离子注入载片装置在审
| 申请号： | 201811309621.2 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN111128665A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 李晨冉 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/317;H01L21/67 |
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| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入载片装置，包括：基座、旋转云台、载片基盘、滑动夹具等，所述基座能够为旋转云台和载片基盘提供支撑，能够提供载片基盘与注入轴线的角度变化，满足注入工艺对角度的要求；所述旋转云台能够提供绕载片基盘中心的角度变化及旋转运动；所述载片基盘能够装载硅片，并且载片基盘上设计有水冷，能够满足离子注入时冷却要求；所述滑动夹具能够实现指定规格的硅片夹持，能够实现载片装置运动过程中硅片夹持牢固且不损坏硅片。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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