[发明专利]一种网络状纳米电阻及其制备方法在审
申请号: | 201811312472.5 | 申请日: | 2018-11-05 |
公开(公告)号: | CN109521058A | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 张成云;程朗;李炜键;刘志宇 | 申请(专利权)人: | 广州大学 |
主分类号: | G01N27/04 | 分类号: | G01N27/04;B82Y40/00;H01C17/08 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 颜希文;宋静娜 |
地址: | 510000 广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种网络状纳米电阻及其制备方法。本发明利用真空热蒸发镀膜法,采用多孔无机滤膜作为衬底材料,在衬底材料表面镀上大面积规则分布的金属钯纳米网络状结构,通过精确控制金属钯材料的用量、镀膜时间,方便快捷地在衬底材料表面制备出大面积规则分布的纳米网络状结构,且纳米网络状结构的厚度可控,且工艺简单,无需耗费大量材料。本发明制备的网络状纳米电阻可用于传感器器件、太阳能电池、生物医药工程等领域。 | ||
搜索关键词: | 制备 纳米网络 网络状 电阻 衬底材料表面 规则分布 金属钯 真空热蒸发镀膜 传感器器件 太阳能电池 衬底材料 大量材料 厚度可控 生物医药 无机滤膜 镀膜 可用 | ||
【主权项】:
1.一种网络状纳米电阻的制备方法,其特征在于,利用真空热蒸发镀膜法,以多孔无机滤膜作为衬底材料,制备具有金属钯网络状纳米结构电阻。
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