[发明专利]颗粒物检测装置在审
| 申请号： | 201811315090.8 | 申请日： | 2018-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN109406355A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 罗柱华 | 申请（专利权）人： | 深圳益杉创新科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06 |
| 代理公司： | 北京卓唐知识产权代理有限公司 11541 | 代理人： | 唐海力;李志刚 |
| 地址： | 518104 广东省深圳市宝安区沙井街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了颗粒物检测装置。具体包括：晶圆底部，其用于作为集成电路元件的载体；光源部，其用于发射激光光束；透镜部，其用于将激光光束通过处理后进入处理部；处理部，其用于处理所述激光光束；感光部，用于接收经由透镜部光束作用于颗粒物引起散射的光束并转化为电信号；集成电路元件部，其与所述感光部相连并安装在所述晶圆底部，用于处理接收到的电信号；结构部，其用于在所述晶圆底部上形成进风口结构、出风口结构以及激光通道结构。本申请解决了空气颗粒物传感器体积较大，可使用环境局限的问题。通过本申请中的颗粒物检测装置通过在晶圆通过一次封装后体积较小，可使用在手表、手机等微小型电子设备上显示空气颗粒物的实时测量数据。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 颗粒物检测装置 集成电路元件 空气颗粒物 激光光束 感光部 透镜部 申请 微小型电子设备 发射激光光束 实时测量数据 出风口结构 光束作用 激光通道 使用环境 一次封装 光源部 结构部 进风口 颗粒物 传感器 散射 手机 手表 局限 转化 | ||
【主权项】：
1.一种颗粒物检测装置，其特征在于，包括：晶圆底部，其用于作为集成电路元件的载体；光源部，其用于发射激光光束；透镜部，其用于将激光光束通过处理后进入处理部；处理部，其用于处理所述激光光束；感光部，用于接收经由透镜部光束作用于颗粒物引起散射的光束并转化为电信号；集成电路元件部，其与所述感光部相连并安装在所述晶圆底部，用于处理接收到的电信号；结构部，其用于在所述晶圆底部上形成进风口结构、出风口结构以及激光通道结构。
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