[发明专利]一种电压可调谐驱动的干涉滤色器及其制备方法有效
| 申请号： | 201811315161.4 | 申请日： | 2018-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN109445091B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 埃泽尔·马丁·阿金诺古;保罗·马尔瓦尼;克日什托夫·坎帕;迈克尔·吉尔森 | 申请（专利权）人： | 肇庆市华师大光电产业研究院 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 任重 |
| 地址： | 526040 广东省肇庆市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电压可调谐驱动的干涉滤色器及其制备方法。所述干涉滤色器，包括从下至上依次设置的衬底、底部电极E1、软介质、具有穿孔结构的顶部电极E2、光腔和上层基板；所述软介质为可挤压的聚合物；所述软介质延伸穿过所述穿孔结构形成顶部具有相同凸出高度的柱状纹理；所述柱状纹理的顶部与所述上层基板相接触。本发明提供的干涉滤色器通过利用施加到相邻电极的电势来调控空气间隙，可以在整个可见范围内获得干涉色，因此不再需要子像素的存在；且该干涉滤色器制备工艺简单，可实现批量化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电压 调谐 驱动 干涉 滤色器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电压可调谐驱动的干涉滤色器，其特征在于，包括从下至上依次设置的衬底、底部电极E1、软介质、具有穿孔结构的顶部电极E2、光腔和上层基板；所述软介质为可挤压的聚合物；所述软介质延伸穿过所述穿孔结构形成顶部具有相同凸出高度的柱状纹理；所述柱状纹理的顶部与所述上层基板相接触。
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