[发明专利]一种智能高精度力敏传感器

摘要

本发明属于压力传感技术，提供一种智能高精度力敏传感器结构设计。本发明利用溅射薄膜压力敏感芯片的去应力阀结构，结合弹性垫片、绝缘底座、定位销等零件，实现内部电路板组件的安装固定。通过在电路板组件之间设置的导电支柱与电路板组件焊接在一起，既起到了固定、支撑电路板组件的作用，又起到了电路板组件之间电气连接的作用，提高了传感器内部电气连接的可靠性。传感器压力接管嘴、安装法兰盘、壳体和插座均采用焊接实现固定和密封，紧固强度高，密封效果好。因此本发明提供的智能高精度力敏传感器结构设计具有体积小，重量轻，可靠性高，环境适应性强的特点，适用于航空压力传感器的设计。