[发明专利]一种硅片自动插片设备

摘要

本发明创造提供了一种硅片自动插片设备，包括工作台架、电缸、水槽、片篮、滑道和水路系统，所述电缸上部固设有片篮支架，所述片篮放置于片篮支架之上，所述滑道与片篮相邻而设，靠近片篮的一侧向下倾斜，在片篮支架上放置空片篮，启动电缸，电缸上的活塞杆带动片篮移动，至片篮的第一个片槽位置对准滑道，把晶圆片放置于滑道上，晶圆片沿滑道滑到片篮内，此时电缸带动片篮下移一个片槽高度，继续放入晶圆片，如此循环操作，待片篮装满后再放入新的片篮。本发明创造能够将晶圆片自动沿滑道插入片篮中，采用自动化插片方法，降低人为插片误差，缩短工作时间、减少人工参与、提高工作效率。

主权项

1.一种硅片自动插片设备，其特征在于：包括工作台架(1)、电缸(2)、水槽(3)、片篮(4)、滑道(5)和水路系统(6)，所述工作台架(1)的上部设有控制箱(11)，下部设有储物柜(12)，控制箱(11)与储物柜(12)之间通过背板(13)固定连接，所述背板(13)位于控制箱(11)与储物柜(12)的同侧，所述水路系统(6)位于储物柜(12)之内，所述储物柜(12)之上围设有工作台(7)；所述水槽(3)置于工作台(7)之内，水槽(3)与背板(13)之间留有空腔，所述电缸(2)设于所述工作台架(1)与水槽(3)之间的空腔内，其下部穿过并固定于储物柜(12)顶部，所述电缸(2)包括外壳(22)和活塞杆(21)，所述活塞杆(21)的一端插入外壳(22)之内，另一端固定连接有片篮支架(41)，所述片篮支架(41)向下伸入水槽(3)之中，与水槽(3)内壁相依，其下部设有横板(411)，所述片篮(4)放置于横板(411)之上；所述滑道(5)位于片篮(4)远离片篮支架(41)的一侧，由固设于水槽(3)内壁的支撑结构支撑，所述滑道(5)与片篮(4)相邻，邻近片篮(4)的一侧向下倾斜，所述滑道(5)上表面高于片篮(4)内底面且与片篮(4)的底面平行。