[发明专利]一种二硫化物单晶及其制备方法和用途在审
申请号: | 201811324860.5 | 申请日: | 2018-11-08 |
公开(公告)号: | CN109183156A | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
发明(设计)人: | 郑建邦;朱美洁;赵耀华;冯晴亮 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学 |
主分类号: | C30B29/46 | 分类号: | C30B29/46;C30B25/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 巩克栋 |
地址: | 710072 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及一种二硫化物单晶及其制备方法和用途,所述制备方法包括:(1)在中部具有加热装置的管式炉中,沿气流的方向,分别在距离管式炉进气端距离占管式炉总长度的25~35%处和45~55%处放置硫族单质源和混有氯化钠的过渡金属氧化物源;所述过渡金属氧化物源的上方放置有生长基底;(2)向所述管式炉中通入保护性气体,然后将管式炉升温至化学气相沉积的温度进行化学气相沉积。通过所述方法得到高结晶质量、超大晶畴尺寸的二硫化物单晶。所述二硫化物单晶应用于纳米器件、光学器件和片上激光器中的任意一种或至少两种组合。 | ||
搜索关键词: | 管式炉 二硫化物 单晶 制备 过渡金属氧化物 化学气相沉积 氯化钠 保护性气体 光学器件 加热装置 纳米器件 上激光器 高结晶 进气端 生长基 单质 晶畴 硫族 应用 | ||
【主权项】:
1.一种二硫化物单晶的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:(1)在中部具有加热装置的管式炉中,沿气流的方向,分别放置硫族单质源和过渡金属氧化物源;所述过渡金属氧化物源的上方放置有生长基底;所述过渡金属氧化物源中混有氯化钠;(2)向所述管式炉中通入保护性气体,然后将管式炉升温至化学气相沉积的温度进行沉积生长;在所述管式炉中,硫族单质源与管式炉进气端的距离占管式炉总长度的25~35%,过渡金属氧化物源与管式炉进气端的距离占管式炉总长度45~55%。
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