[发明专利]一种检测芯片在测试中叠片的装置有效

专利信息
申请号: 201811325979.4 申请日: 2018-11-08
公开(公告)号: CN109585321B 公开(公告)日: 2020-11-10
发明(设计)人: 邓旭军;姜胜林;赵俊;方盼;张少军 申请(专利权)人: 深圳市卓精微智能机器人设备有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 深圳市徽正知识产权代理有限公司 44405 代理人: 李想
地址: 518000 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种检测芯片在测试中叠片的装置,包括旋转电机、滑台气缸、主板、旋转传感器、缓冲装置和Socket压制块,滑台气缸通过螺栓固定在主板上,滑台气缸的活塞端通过铝块连接有旋转电机,并通过螺栓拧紧,滑台气缸的上盖部分上安装有旋转传感器,缓冲装置安装在旋转电机的输出端上,旋转电机的铝块上还安装有光纤传感器,两个Socket压制块对称安装在主板的底端,并在其上套入按压弹簧;本发明提供了一种检测芯片在测试中叠片的装置,适用于芯片自动测试设备上,在快速的烧录情况下,能准确的判别Socket内芯片是否叠片还是有异物,安装芯片叠片检测装置,能大大的提高生产异常的发现和处理效率,进一步提升工厂的智能化进程。
搜索关键词: 一种 检测 芯片 测试 中叠片 装置
【主权项】:
1.一种检测芯片在测试中叠片的装置,包括旋转电机(1)、滑台气缸(2)、主板(3)、旋转传感器(4)、缓冲装置(6)和Socket压制块(8),其特征在于,所述滑台气缸(2)通过螺栓固定在主板(3)上,所述滑台气缸(2)的活塞端通过铝块连接有旋转电机(1),并通过螺栓拧紧,以便于通过所述滑台气缸(2)带动旋转电机(1)上下移动;所述滑台气缸(2)的上盖部分上安装有旋转传感器(4),所述缓冲装置(6)安装在旋转电机(1)的输出端上,通过所述旋转电机(1)带动缓冲装置(6)旋转,所述旋转电机(1)的铝块上还安装有光纤传感器(5),两个所述Socket压制块(8)对称安装在主板(3)的底端,并在其上套入按压弹簧(7)。
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