[发明专利]双螺旋主轴温控系统及其控制方法在审
| 申请号： | 201811328940.8 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN109227221A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 谭立杰;王广峰;张乾;周立庆;肖钰;黄卫国;程秀全;程雨 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B23Q11/12 | 分类号： | B23Q11/12 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 王晖 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种双螺旋主轴温控系统及其控制方法，涉及设备制造技术领域，包括：双螺旋轴套机构，双螺旋轴套机构包括双螺旋轴套、主轴和安装座；双螺旋轴套的内壁或主轴的外壁沿轴向开设有两个螺旋状的螺旋凹槽，主轴通过安装座密封安装在双螺旋轴套内，两个螺旋凹槽在主轴和双螺旋轴套之间构成循环连通的进水通路和出水通路；双螺旋轴套上设置有进水口和出水口，进水口和出水口分别与进水通路和出水通路连通；供水机构的出口与进水口连通；供水机构的进口与出水口连通；温控机构用于监测进水口位置和出水口位置的水温值；控制机构与供水机构和温控机构控制连接，用于根据温控机构的监测结果控制供水机构的供水量。 | ||
| 搜索关键词： | 双螺旋 轴套 供水机构 温控机构 出水口 进水口 连通 出水通路 进水通路 螺旋凹槽 温控系统 轴套机构 安装座 出水口位置 进水口位置 监测结果 控制连接 密封安装 涉及设备 循环连通 供水量 螺旋状 内壁 外壁 轴向 监测 进口 出口 制造 | ||
【主权项】：
1.一种双螺旋主轴温控系统，其特征在于，包括：双螺旋轴套机构，所述双螺旋轴套机构包括双螺旋轴套、主轴和安装座；所述双螺旋轴套的内壁或所述主轴的外壁沿轴向开设有两个螺旋状的螺旋凹槽，所述主轴通过所述安装座密封安装在所述双螺旋轴套内，两个所述螺旋凹槽在所述主轴和所述双螺旋轴套之间构成循环连通的进水通路和出水通路；所述双螺旋轴套上设置有进水口和出水口，所述进水口和所述出水口分别与所述进水通路和所述出水通路连通；供水机构，所述供水机构的出口与所述进水口连通，用于向所述进水通路输送冷却水；所述供水机构的进口与所述出水口连通，用于回收所述出水通路的冷却水；温控机构，所述温控机构用于监测所述进水口位置和所述出水口位置的水温值；控制机构，所述控制机构与所述供水机构和所述温控机构控制连接，用于根据所述温控机构的监测结果控制所述供水机构的供水量。
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